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  英國愛德華真空泵
愛德華羅茨泵EH係列
     詳細描述:

愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵

EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用於壓力範圍為0.0110 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對於大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性製程介質下,因此高度可靠。

應用

·                                半導體製程

·                                真空蒸餾

·                                真空包裝

·                                鋼脫氣

·                                薄膜覆層

·                                真空冶金

·                                低密度風洞

·                                空間模擬

·                                真空浸漬

·                                油幹燥和脫氣

·                                製藥冷凍幹燥

·                                CO2激光

功能和優勢

·                                適用於在0.0150 mbar/0.007537.5 Torr的壓力範圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應用場合。

·                                它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

·                                EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

·                                                       o   安靜的無振動運行。

·                                                       o   牢靠且防腐蝕。

·                                                       o   先進的軸封技術,處理艙中不會出現油汙染

·                                防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵製造。

·                                經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,並且由於不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。

·                                軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端麵上堆積吸入的微粒。

·                                動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助於實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的製造商所需要的。

 

技術數據

 型號

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容積)

310 m3h-1/ 185 ft3min-1

505 m3h-1/ 300 ft3min-1

1195 m3h-1/ 715 ft3min-1

2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1

4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1

使用前級泵時的有效抽速

240 m3h-1/ 141 ft3min-1

350 m3h-1/ 206 ft3min-1

840 m3h-1/ 495 ft3min-1

1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1

3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1

泵的壓力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

進氣口連接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口連接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

轉速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

連續進氣口工作壓力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口壓力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推薦的前級泵

GV80E1M/E2M40E1M/E2M80

GV80E2M80

GV160GV250
E2M80
E2M175

GV250GV400
E2M175
E2M275

GV400E2M275

電機功率

 

 

 

 

 

碳氫化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW